多晶硅掺杂装置及多晶硅铸锭掺杂补偿方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅掺杂装置及多晶硅铸锭掺杂补偿方法，所述多晶硅掺杂装置包括加料筒、隔离箱、提取机构和封盖机构，所述加料筒包括相对设置的第一开口端和第二开口端，所述第一开口端固定连接所述多晶硅铸锭炉的顶端，并贯通所述多晶硅铸锭炉，所述第二开口端固定连接所述隔离箱的底端，并贯通所述隔离箱，所述提取机构包括支撑座和提取杆，所述支撑座固定于所述隔离箱顶端，与所述第二开口端相对设置，所述提取杆滑动连接于所述支撑座，所述提取杆的一端可穿过所述加料筒，并插入所述多晶硅铸锭炉内，所述封盖机构包括盖板，所述盖板收容于所述隔离箱内，并铰接于所述第二开口端，以封盖或开启所述第二开口端。