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飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件

摘要

本发明提供一种飞行时间二次离子质谱分析装置用的试样固定部件,其能够防止固体试样的污染,能够稳定地固定固体试样,并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测。本发明的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。

著录项

  • 公开/公告号CN104081195A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-10-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日东电工株式会社;

    申请/专利号CN201380007772.1

  • 发明设计人 前野洋平;

    申请日2013-01-29

  • 分类号G01N27/64;C01B31/02;H01J49/40;

  • 代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人龙淳

  • 地址 日本大阪府

  • 入库时间 2023-12-17 02:29:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-03-01

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N27/64 申请公布日:20141001 申请日:20130129

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2014-10-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/64 申请日:20130129

    实质审查的生效

  • 2014-10-01

    公开

    公开

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