法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C08L83/14 申请公布日:20141119 申请日:20140721
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-12-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C08L83/14 申请日:20140721
实质审查的生效
2014-11-19
公开
公开
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法以及半导体装置的制造方法
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,半导体装置的制造方法
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法以及半导体装置的制造方法