一种离子注入设备用电极和离子注入设备

摘要

本发明的实施例提供一种离子注入设备用电极和离子注入设备，涉及半导体技术领域，可增大电极的开口率，增加离子束的密度，从而提高离子注入的效率。所述离子注入设备用电极包括本体部分和透过部分；所述透过部分包括紧密规则排布的多个透过孔，且所述透过孔的形状包括圆形或者正多边形；其中，所述正多边形的边数至少为四条。用于离子注入设备的制造。