法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-29
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/3065 申请公布日:20141022 申请日:20121015
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-03-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/3065 申请日:20121015
实质审查的生效
2014-10-22
公开
公开
机译: 具有用于等离子体反应器的智能提升销机制的静电夹盘
机译: 具有用于等离子体反应器的智能提升销机制的静电夹盘
机译: 具有用于等离子体反应器的智能提升销机制的静电夹盘