压电静电复合式低频振动能量采集器

摘要

本发明公开一种压电静电复合式低频振动能量采集器，包括：质量块、PVDF薄膜、柔性可变电容、硅衬底；所述柔性可变电极包括PDMS柔性空腔和位于该空腔上下表面的PDMS碳纳米管上电极和PDMS碳纳米管下电极；PVDF薄膜设置于柔性可变电容的PDMS碳纳米管上电极之上，柔性可变电容的PDMS碳纳米管下电极固定于硅衬底之上，质量块用于降低器件的工作频率。本发明能使MEMS换能器件在低频振动环境下获得较大的输出功率和较高的能量转换效率。不但结构简单，制作容易，体积减小，并且它可运行于低频环境中，在环境振动范围内有较高的能量转换效率。