公开/公告号CN104034624A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-09-10
原文格式PDF
申请/专利权人 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司;
申请/专利号CN201410229025.9
申请日2014-05-28
分类号G01N5/02;
代理机构上海东方易知识产权事务所;
代理人唐莉莎
地址 200241 上海市闵行区江川东路28号
入库时间 2023-12-17 01:24:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-12
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N5/02 申请公布日:20140910 申请日:20140528
发明专利申请公布后的驳回
2014-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N5/02 申请日:20140528
实质审查的生效
2014-09-10
公开
公开
机译: 监测化学反应速率的过程,尤其是橡胶引发反应的速率
机译: 用聚焦电子束在所述表面上引发化学反应在表面上蚀刻材料的程序
机译: 晶片表面温度实时监测方法在半导体晶片清洁设备和温度传感器,用于晶片表面温度测量