具有线性C-V特性的低应力双杠杆结构MEMS变容器

摘要

本发明涉及具有线性C-V特性的低应力双杠杆结构MEMS变容器，下极板、驱动电极和锚点设置于介质衬底上，上极板的两端部通过扭转梁支撑固定于锚点上，上极板的中间部与下极板相对，上极板的端部与驱动电极相对；驱动电极上施加线性增加电压，上极板的端部向下运动，上极板的中间部向上运动，上极板与下极板之间的电容值减小，驱动电极上停止施加线性增加电压，上极板通过扭转梁的扭转弹力回复至初始水平状态。上极板外端部向下运动带动上极板向上运动，上下极板间间距增大，使电容值C随电压值V增加而线性减小；上极板中间部台阶结构使上下极板初始间距减小，初始电容值提高，增大电容变化范围，有助于释放上极板运动时形变产生的应力。