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提高大气压等离子体射流阵列空间均匀性的方法

摘要

一种提高大气压等离子体射流阵列空间均匀性的方法,其特征在于在大气压等离子体射流阵列的工作气体纯氦气体中添加氧气,氦气流速为3L/min,氧气流速为0.003~0.007L/min。本发明可使等离子体射流阵列具有最优的空间均匀性。

著录项

  • 公开/公告号CN103997842A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-08-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院电工研究所;

    申请/专利号CN201410113763.7

  • 发明设计人 章程;邵涛;杨文晋;周中升;

    申请日2014-03-25

  • 分类号H05H1/26(20060101);

  • 代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;

  • 代理人关玲

  • 地址 100190 北京市海淀区中关村北二条6号

  • 入库时间 2023-12-17 01:14:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-04-19

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H05H1/26 申请公布日:20140820 申请日:20140325

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2014-09-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/26 申请日:20140325

    实质审查的生效

  • 2014-08-20

    公开

    公开

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