公开/公告号CN104049196A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-09-17
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201410283265.7
申请日2014-06-23
分类号G01R31/26;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-12-17 01:05:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R31/26 申请公布日:20140917 申请日:20140623
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20140623
实质审查的生效
2014-09-17
公开
公开
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