具有可变品质因数的微机电和/或纳机电结构

摘要

本发明涉及具有可变品质因数的微机电和/或纳机电结构。惯性传感器包括：固定部件(8)、悬吊于固定部件(8)的至少一个质量块(6)以及阻尼悬吊于固定部件(8)的部件(6)的位移的装置(4)，所述阻尼装置(4)为机电阻尼装置，包括：串联的至少一个直流电源(14)、一个电阻器(R)以及一个可变电容器(C)，所述可变电容器(C)部分地由悬吊部件(6)形成，部分地由固定部件(8)形成，使得悬吊部件(6)的位移导致可变电容器(C)的电容变化。