法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-26
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L33/44 申请公布日:20140820 申请日:20140521
发明专利申请公布后的驳回
2014-09-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/44 申请日:20140521
实质审查的生效
2014-08-20
公开
公开
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置