法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-07
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G06F17/50 申请公布日:20140820 申请日:20140425
发明专利申请公布后的驳回
2014-09-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20140425
实质审查的生效
2014-08-20
公开
公开
机译: 用于等离子体浸没离子注入的增强型等离子体模式和系统
机译: 用于等离子体浸没离子注入的增强型等离子体模式和系统
机译: 用于等离子体浸没离子注入的增强型等离子体模式和计算机系统