增大蚀刻液蚀刻用量的铜/钼合金膜的蚀刻方法

摘要

本发明涉及一种用于TFT-LCD制造的铜/钼合金膜用蚀刻液的蚀刻用量的增加方法，依据本发明的方法，在使用铜/钼合金膜用蚀刻液进行反复蚀刻时，可使其所发生的蚀刻速度、锥度曲线、蚀刻直线度等低下的蚀刻特性得以恢复，并可增加蚀刻液的蚀刻用量，从而可显著地降低TFT-LCD等的制造费用。

说明书

技术领域

本发明涉及一种以增大蚀刻液蚀刻用量为特征的、用于TFT-LCD的铜 /钼合金膜的蚀刻方法。

背景技术

半导体装置及TFT-LCD等液晶显示装置的微电路是通过在基板上形成 的铝、铝合金、铜及铜合金等导电性金属膜或二氧化硅膜、氮化硅薄膜等 绝缘膜上，均匀地涂抹光刻胶，然后通过刻有图案的薄膜，进行光照射后 成像，使所需的图案光刻胶成像，采用干式蚀刻或湿式蚀刻，在光刻胶下 部的金属膜或绝缘膜上显示图案后，剥离去除不需要的光刻胶等一系列的 光刻工程而完成的。

用于大型TFT-LCD的栅极及数据金属配线所使用的铜合金，与以往技 术中的铝铬配线相比，阻抗低且没有环境问题。铜存在与玻璃基板及绝缘 膜的贴附性较低，易扩散为氧化硅膜等问题，所以通常使用钛、钼等作为 下部薄膜金属。

另外，随着TFT-LCD的大型化，湿式蚀刻中所使用的蚀刻液的用量越 来越大，为了减少制造成本，开发出可减少蚀刻液使用量的技术势在必行。

在以往技术中，在韩国专利公开公报第2003-0082375号、专利公开 公报第2004-0051502号、专利公开公报第2006-0064881号及专利公开公报 第2006-0099089号等中，公开了过氧化氢基板的铜/钼合金蚀刻液，但其仅 对蚀刻液的组成特性进行了说明，尚不能满足前述的目的。

对此，本发明人在研究蚀刻液的蚀刻用量的改善过程中，发现在因反 复蚀刻而导致蚀刻特性低下的铜/钼合金用蚀刻液中添加蚀刻添加剂或蚀 刻辅助剂时，可维持蚀刻特性，从而完成了本发明。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种可解决在蚀刻铜/钼合金膜的过程中， 反复使用相同的蚀刻液，使蚀刻特性低下的问题，并可增加蚀刻液的蚀刻 用量的方法。

为实现上述发明目的，本发明的铜/钼合金膜的蚀刻方法，包括：在 铜/钼合金膜的蚀刻工程中，蚀刻液在达到蚀刻结束点之前或之后，在所 述蚀刻液中，添加在由无机酸、无机盐、有机酸及螯合剂构成的群中选择 的一个以上的蚀刻添加剂，或是添加由所述蚀刻添加剂、过氧化氢及水构 成的蚀刻辅助剂，使蚀刻液的蚀刻用量增加的步骤。

本发明的有益效果是，依据本发明的方法，在使用铜/钼合金膜用蚀 刻液进行反复蚀刻时，可使其所发生的蚀刻速度、锥度曲线、蚀刻直线度 等低下的蚀刻特性得以恢复，并可增加蚀刻液的蚀刻用量，从而可显著地 降低TFT-LCD等的制造费用。

附图说明

图1是在蚀刻液中，溶解5000ppm的铜/钼合金粉末，在铜/钼合金膜 蚀刻后，用扫描电子显微镜观察截面的照片；

图2是在本发明实施方式3中，溶解7000ppm的铜/钼合金粉末，在 铜/钼合金膜蚀刻后，用扫描电子显微镜观察截面的照片。

具体实施方式

以下就本发明所使用的术语进行定义。

在本发明中所使用的术语“蚀刻液”是指为了减小用于TFT-LCD等的 铜/钼合金膜的厚度，或是为了形成图案而使用的液体。

在本发明中所使用的术语“蚀刻添加剂”是指在用于蚀刻液的成分中， 具有溶解酸化的金属离子作用的成分。

在本发明中所使用的术语“蚀刻辅助剂”是指除所述蚀刻添加剂以外， 含有有助于增加蚀刻用量物质的溶液。

用于TFT-LCD的铜/钼合金膜用蚀刻液由作为主酸化剂用于酸化铜/钼 合金膜的过氧化氢、作为蚀刻添加剂将酸化的铜/钼合金膜在溶液中溶解 成离子形态，使溶解的铜离子稳定化的有机物及无机物、控制蚀刻速度并 形成锥度曲线的蚀刻抑制剂及用于防止由离子化的金属促进分解反应的双 氧水稳定剂等构成。

在上述成分中，过氧化氢作为使铜和钼酸化的主要成分，使用低于具 有半导体工程用纯度的金属不纯物ppb基准以下的过氧化氢，其含量为整 体组成物的5-40重量%。

在上述成分中的蚀刻添加剂，具有溶解酸化的金属离子的性能，使用 无机物及有机物。有机物如醋酸、丁酸、柠檬酸、乙醇酸、草酸、丙二酸、 戊酸、丙酸、酒石酸、琥珀酸、葡萄糖酸及其他水溶性有机酸及同时具备 氨基和羧酸基的螯合剂，如亚氨基二乙酸、氨三乙酸、乙二胺四乙酸、二 乙烯三胺五乙酸、氨基三亚甲基膦酸、1-羟基亚乙基-1,1-二磷酸、乙二胺 四甲撑磷酸、二亚乙基三胺五亚甲基磷酸、肌氨酸、丙氨酸、谷氨酸、氨 基丁酸及甘氨酸等。无机物如磷酸、硝酸、硫酸及氢氟酸等无机酸及磷酸 盐、硝酸盐、硫酸盐及氟化盐等无机盐。

在上述成分中的蚀刻抑制剂是用于调节蚀刻速度、在蚀刻时使铜/钼 合金膜的蚀刻轮廓维持适当的锥度角进行蚀刻的物质，如吡唑、咪唑、1， 2，4-三氮唑、四唑、氨基四唑、吲哚、嘌呤、吡啶、嘧啶、吡咯、吡咯 烷酮及吡咯林等环形胺类化合物。

上述双氧水稳定剂可为磷酸盐、乙二醇类、环形胺类等。

大型TFT-LCD制造设备的蚀刻喷涂腔的下面，具有可装有一定量蚀刻 液的蚀刻液槽。在蚀刻液槽内装入一定量的蚀刻液后，使用相同的蚀刻液 进行反复蚀刻。但是，相同的蚀刻液进行反复使用时，会发生蚀刻特性降 低的问题，从而导致蚀刻液的可蚀刻次数减少。蚀刻液的可蚀刻次数，在 相同的蚀刻液进行反复蚀刻时，其蚀刻速度、锥度曲线及蚀刻直线度等蚀 刻特性不发生变化时，则为蚀刻用量。

大型TFT-LCD制造设备的蚀刻液使用量较多，为了减少蚀刻液的使用 量，增加蚀刻用量是非常重要的。对此，本发明提供了一种可增加可蚀刻 次数，即增加蚀刻液的蚀刻用量的方法。

利用相同的蚀刻液进行反复蚀刻时，蚀刻液内的金属离子的浓度会有 所增加。在利用作为酸化剂的过氧化氢的铜/钼合金膜用蚀刻液中，必须 抑制金属离子发生酸化还原反应并促进过氧化氢分解的反应，因此需要有 物质来控制金属离子和过氧化氢的反应。

金属离子的非活性化是因金属离子形成蚀刻液内的物质和螯合剂，而 防止金属离子在自由状态下，与过氧化氢相遇并进行酸化还原反应。不能 形成螯合剂的金属离子与过氧化氢反应，分解过氧化氢，由此产生的反应 热会进一步促进反应，引起蚀刻液的爆炸。因此，金属离子螯合化在铜/ 钼合金膜用蚀刻液中是非常重要的过程。金属离子的螯合化可为蚀刻添加 剂的无机物、有机酸、螯合剂等，优选为与螯合剂结合的非活性化。

金属的蚀刻速度、锥度曲线及蚀刻直线度等蚀刻特性取决于在铜/钼 合金膜用蚀刻液成分中的蚀刻添加剂和蚀刻抑制剂的比。蚀刻添加剂多于 蚀刻抑制剂时，蚀刻速度快，CD(critical dimension)变大；蚀刻添加剂少 于蚀刻抑制剂时，蚀刻速度慢，锥度变大。当形成一定值以上的锥度时， 会显现出不均一的金属直线度，会发生残渣，导致斑点等不合格问题，致 使产品无法使用。因此，在使用蚀刻液的过程中，使蚀刻添加剂和蚀刻抑 制剂具有并维持均一的比，这与铜/钼合金膜用蚀刻液的可使用次数，即 蚀刻液的蚀刻用量紧密相关。

利用相同的蚀刻液进行反复蚀刻时，蚀刻液内部的蚀刻添加剂可使蚀 刻并离子化的金属离子和螯合剂形成，从而使进行蚀刻的附加蚀刻添加剂 的量持续减少。也就是说，在蚀刻液内的蚀刻添加剂中，参与到新蚀刻中 的自由的蚀刻添加剂有所减少，但是用于可形成螯合剂的蚀刻添加剂则有 所增加。相反，蚀刻抑制剂仅用于为形成均一的锥度角而控制蚀刻速度的 工程中，因此即使蚀刻反复进行，其组成也几乎不会减少。

因此，利用相同的蚀刻液进行反复蚀刻，使蚀刻液内的金属离子增加 时，与参与蚀刻的蚀刻添加剂相比，控制蚀刻速度的蚀刻抑制剂的比更多， 蚀刻锥度角会增加，从而使蚀刻速度的增加及蚀刻直线度发生问题（如图 1）。由此可见，蚀刻添加剂和蚀刻抑制剂的比的变化，会减少蚀刻液使 用次数，即使用用量，使蚀刻无法继续进行。

为了解决上述问题，本发明添加因蚀刻反复而减少的蚀刻添加剂，使 在蚀刻液内的蚀刻添加剂和蚀刻抑制剂的比，维持在可发挥蚀刻特性的状 态下。本发明为了维持一定的金属酸化力，除了上述的蚀刻添加剂外，还 在蚀刻液中添加含有过氧化氢及水的蚀刻辅助剂，从而增加蚀刻用量。

本发明包括：在铜/钼合金膜的蚀刻工程中，蚀刻液在达到蚀刻结束 点之前或之后，在所述蚀刻液中，添加在由无机酸、无机盐、有机酸及螯 合剂构成的群中选择的一个以上的蚀刻添加剂，或是添加由所述蚀刻添加 剂、过氧化氢及水构成的蚀刻辅助剂，使蚀刻液的蚀刻用量增加的步骤。

在本发明中，“蚀刻结束点”是指蚀刻完成的点，对此本技术领域的 技术人员可通过肉眼识别。

本发明的方法可适用于铜/钼合金膜用蚀刻液，所述蚀刻液的成分及 其例如前述说明。

在本发明的方法中，所使用的“蚀刻添加剂”是指可形成金属离子和 螯合的物质，可选自无机酸、无机盐、有机酸及螯合剂构成的群。无机酸、 无机盐、有机酸及螯合剂的具体示例如前述。

在本发明的方法中，所使用的“蚀刻辅助剂”是指由蚀刻添加剂、过 氧化氢及水构成的水溶液。蚀刻辅助剂因包含过氧化氢，可维持一定的金 属酸化力，与蚀刻添加剂相比，更便于添加。过氧化氢的含量与蚀刻前的 蚀刻液内的过氧化氢的含量相同，或是与蚀刻液内的过氧化氢的含量相比， 可在±20%以内的范围内增减。

在本发明的一实施方式中，蚀刻辅助剂由5-40重量%的过氧化氢、1- 10重量%的一个以上的蚀刻添加剂及余量的水，优选为脱离子水构成。

在蚀刻辅助剂内的蚀刻添加剂的含量，优选为多于蚀刻前的蚀刻液内 的蚀刻添加剂的含量。蚀刻辅助剂是在蚀刻液中附加添加的组成物，因此 当蚀刻添加剂的含量大于蚀刻液时，即使蚀刻辅助剂的添加量较少时，也 可以实现更大的蚀刻用量的增加。

铜/钼合金膜用蚀刻液由过氧化氢、各种种类的蚀刻添加剂、蚀刻抑 制剂及双氧水稳定剂等构成，相反，在本发明的方法中，所使用的蚀刻添 加剂或蚀刻辅助剂其构成更为单纯化，尤其是不使用单价高但制造竞争力 相对较低的蚀刻抑制剂，因此可提高TFT-LCD制造的竞争力。另外，在本 发明所使用的蚀刻添加剂或蚀刻辅助剂中附加添加同等量的蚀刻液时，蚀 刻用量可有效的增大。

在制造大型TFT-LCD时，可维持蚀刻特性的蚀刻用量可测定在蚀刻液 中离子化的金属离子的浓度，决定蚀刻液的蚀刻反复次数。因此，在蚀刻 液的蚀刻浓度到达所定蚀刻用量（极限使用用量）时，添加一定量的本发 明蚀刻添加剂或蚀刻辅助剂，然后可再增加可蚀刻金属离子的浓度，然后 再达到所定蚀刻用量时，可反复的添加蚀刻添加剂或蚀刻辅助剂。这个过 程可持续到蚀刻液内的蚀刻抑制剂可发挥蚀刻特性的过程为止，反复进行。 其次数与蚀刻装备的蚀刻液槽及蚀刻用量有关，可依据反复评价来决定。

在本发明的方法中，蚀刻添加剂或蚀刻辅助剂可按照一定的量分开或 是连续添加，也就是说，到蚀刻液内的蚀刻抑制剂可发挥特性时为止，可 按照一定的量，分开或是连续添加，以此来增加蚀刻液的蚀刻用量。

接下来，为了更详细的说明本发明所采用的实施方式，仅为本发明的 示例，本发明的内容并不局限于此。

实施例实施例1-3：蚀刻辅助剂的制造

蚀刻辅助剂（实施例1-3）及铜/钼合金膜用蚀刻液（参考例）依据表 1制造而成，下表表1的成分含量是重量%的值。

表1

实施例1-4及对比例1-2:蚀刻评价

为了评价本发明方法的效用性，通过下列方式，在蚀刻时在蚀刻液中 添加实施例实施例1-3的溶液后，将其与对比例进行蚀刻特性对比。具体 来说，铜/钼合金在沉积的钼合金后，沉积的铜，对上述试片 进行光刻工程，使用有图案的玻璃。蚀刻在可以喷涂的装备（Mini-etcher  ME-001）上进行，蚀刻液可使用表1的参考例。在进行蚀刻时，通过肉 眼观察蚀刻结束点，利用扫描电子显微镜（日立集团，S-4800）观察蚀刻 特性之CD(critical dimension)损失、锥度角及蚀刻直线度。

在蚀刻液中添加铜/钼合金的同时，进行蚀刻评价，在可致使 CD(critical dimension)损失、锥度角及蚀刻直线度等蚀刻特性失去的金属 浓度5000ppm以上时，添加实施例实施例1-3的溶液，附加添加铜/钼合 金，进行蚀刻评价，确认蚀刻特性。为了对比，在对比例1中不添加任 何溶液，在对比例2中添加蚀刻液（参考例1），其测定结果如表2所示。

表2

在蚀刻液失去蚀刻特性的金属含量为5000ppm时，添加10%的实施 例1-3及参考例的溶液及蚀刻液，在添加铜/钼合金的同时，进行蚀刻评价 的结果显示，如上表所述，与不做任何添加的对比例1及添加蚀刻液的对 比例2相比，添加实施例1-3的实施例1-3中，可维持蚀刻特性的铜/钼合 金含量有所增加。另外，如实施例4所示，实施例3的溶液分成两次添 加时，蚀刻用量可进一步增加。

由上述结果可见，使用铜/钼合金膜用蚀刻液时，在蚀刻工程中，在 蚀刻液中添加本发明的蚀刻辅助剂，可维持蚀刻特性，增加蚀刻液的蚀刻 用量。