用于MEMS装置的灵敏度调整装置和方法

摘要

一种微机电(MEMS)麦克风包括MEMS马达和增益调整装置。该MEMS马达至少包括隔膜和充电板，并且被构造成接收声能并且将该声能转换为电信号。该增益调整装置具有输入端和输出端，并且被耦接到该MEMS马达。该增益调整装置被构造成在输入端处从该MEMS马达接收电信号，并且调整如从增益调整装置的输出端的测量的该电信号的增益。增益量被选择成获得用于麦克风的良好的灵敏度。