静电透镜及包括该静电透镜的系统

摘要

一种系统包括放置在带电粒子源和检测器之间的静电透镜。该透镜包括：第一电极，具有放置在路径中并与第一轴线对齐的第一孔径；第二电极，在第一电极和带电粒子检测器之间的路径中，第二电极具有放置在路径中并与第二轴线对齐的第二孔径，第二轴线平行于第一轴线，并沿第一方向从第一轴线移位；第三电极，在第一电极和第二电极之间；以及耦合到第一、第二和第三电极的电位生成器。在工作期间，电位生成器将第一、第二和第三电位分别施加到第一、第二和第三电极，以使得静电透镜将沿第一轴线传播的来自带电粒子源的带电粒子束引导到沿第二轴线传播。