一种基于特殊石英材料的声表面波温度传感器

摘要

本发明提供了一种基于特殊石英材料的声表面波温度传感器，包括一个叉指电极、若干个反射栅条和衬底材料，所述叉指电极以重叠加权的形式设置在所述衬底材料上，所述若干个反射栅条以预定的相位点阵加权的形式设置在所述衬底材料上，进一步提高了器件的Q值。本发明采用声表面波器件将温度变化量转化为器件中心频率的变化量，并经将频率的变化量输出，具有较高的采样速度和精度。