公开/公告号CN103811371A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 致茂电子(苏州)有限公司;
申请/专利号CN201410053815.6
发明设计人 朱建勳;
申请日2014-02-18
分类号H01L21/66;H01L21/677;
代理机构上海宏威知识产权代理有限公司;
代理人金利琴
地址 215011 江苏省苏州市高新区竹园路9-1号狮山工业园六号厂房
入库时间 2024-02-20 00:15:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-13
授权
授权
2014-12-31
著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/66 变更前: 变更后: 申请日:20140218
著录事项变更
2014-06-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20140218
实质审查的生效
2014-05-21
公开
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