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高电阻薄膜电阻器及形成所述电阻器的方法

摘要

本申请案涉及高电阻薄膜电阻器及形成所述电阻器的方法。通过形成薄膜电阻器(850)以给一个或一个以上非导电沟槽(814/1426/1720)加衬来实质上增加所述薄膜电阻器(850)的电阻。通过给所述一个或一个以上非导电沟槽(814/1426/1720)加衬,增加了所述电阻器(850)的总长度,同时仍耗用与常规电阻器大致相同的表面积。

著录项

  • 公开/公告号CN103779335A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-05-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 德州仪器公司;

    申请/专利号CN201310492094.4

  • 申请日2013-10-18

  • 分类号H01L23/64;H01L21/02;

  • 代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人林斯凯

  • 地址 美国德克萨斯州

  • 入库时间 2024-02-20 00:02:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-17

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L23/64 申请公布日:20140507 申请日:20131018

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2015-11-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/64 申请日:20131018

    实质审查的生效

  • 2014-05-07

    公开

    公开

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