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薄膜静态腐蚀速率测量方法

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摘要

本发明提供了一种薄膜静态腐蚀速率的测量方法。该方法包括：在晶片的衬底上形成薄膜，将晶片的一部分浸泡在化学机械抛光液中，浸泡一段时间后用轮廓仪测量界面处的高度差，从而得到该薄膜的静态腐蚀速率。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-07-20

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N17/00 申请公布日:20140611 申请日:20121128

发明专利申请公布后的视为撤回
2014-06-11

公开

公开

1. 薄膜静态腐蚀速率测量方法 [P] . 中国专利： CN103852410A . 2014-06-11
2. 慢应变速率拉伸应力腐蚀裂纹扩展速率测量方法 [P] . 中国专利： CN103698188A . 2014-04-02
3. Corrosion sensor, as well as corrosion rate measuring method and the corrosion rate measuring apparatus using the same [P] . 日本专利： JP6058442B2 . 2017-01-11

机译：腐蚀传感器以及腐蚀速率测量方法和使用该腐蚀速率测量设备的腐蚀速率测量设备
4. Fabrication method of thin film electrical resistance sensor for corrosion rate measurement, sensor and local corrosion sensitivity measurement method using the same [P] . 韩国专利： KR100283136B1 . 2001-04-02

机译：用于腐蚀速率测量的薄膜电阻传感器的制造方法，传感器以及使用该传感器的局部腐蚀敏感性测量方法
5. Fabrication method of thin film electrical resistance sensor for corrosion rate measurement, sensor and local corrosion sensitivity measurement method using the same [P] . 韩国专利： KR19990074614A . 1999-10-05

机译：用于腐蚀速率测量的薄膜电阻传感器的制造方法，传感器以及使用该传感器的局部腐蚀敏感性测量方法