锂靶自动再生装置及锂靶自动再生方法

摘要

获得一种锂靶自动再生装置及锂靶自动再生方法，其具备锂靶的锂的膜厚的测定功能，并且可使蒸镀源向锂靶移动，自动地进行消耗了的锂靶的再生。锂靶自动再生装置(106)可自动地再生锂靶的锂，该锂靶自动再生装置(106)具备使锂蒸镀到锂靶上的锂蒸镀单元(1)，锂蒸镀单元(1)可移动到锂靶侧，使锂蒸镀到锂靶上。