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AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING APPARATUS AND AUTOMATIC LITHIUM TARGET REGENERATING METHOD

机译:锂靶自动再生装置及锂靶自动再生方法

摘要

A lithium target automatic regeneration apparatus and a lithium target automatic regeneration method capable of automatically performing the regeneration of a spent lithium target by moving the evaporation source to the lithium target and a function of measuring the thickness of the lithium target of the lithium target are obtained. A lithium target automatic regenerator (106) capable of automatically regenerating lithium of a lithium target, wherein the lithium target automatic regenerator (106) has a lithium vapor deposition unit (1) for depositing lithium on a lithium target, and a lithium vapor deposition unit 1) moves to the lithium target side and lithium can be deposited on the lithium target.
机译:获得了一种锂靶自动再生装置和锂靶自动再生方法,该锂靶自动再生装置和锂靶自动再生方法能够通过将蒸发源移动到锂靶上来自动进行废锂靶的再生,并且具有测量锂靶的锂靶厚度的功能。 。能够自动地再生锂靶的锂的锂靶自动再生器(106),其中,锂靶自动再生器(106)具有用于在锂靶上沉积锂的锂蒸镀单元(1)和锂蒸镀单元。 1)移动到锂靶一侧,并且锂可以沉积在锂靶上。

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