引线键合装置用清洗套件、装置以及毛细管清洗方法

摘要

本发明涉及在长时间使用引线键合的过程中能够有效地去除附着于毛细管的端部的异物的引线键合装置用清洗套件、装置以及毛细管清洗方法。本发明的实施例的引线键合装置用清洗套件作为用于使引线键合对象物进行固定，并以固定的方式安装于具有孔的窗口夹板来使用，或以装拆的形态使用的清洗套件，其特征在于，包括振动生成板和研磨片，上述振动生成板放置于窗口夹板上，上述研磨片附着于上述振动生成板上，并与上述振动生成板联动。