高精度光学测微法及其测微装置

摘要

本发明提供一种高精度光学测微法及其测微装置，本发明利用光线在镜面反射原理，把微小的物理变形放大，从而实现微小变形的测量。高精度光学测微计的主要元器件为镜面，在抵抗电磁干扰和耐久性上有其自身的优势，它具有对环境适应能力强和精度高的特点。