用于在碳注入期间延长离子源寿命和改善离子源性能的方法

摘要

提供了一种用于在碳注入期间延长离子源寿命和改善离子源性能的新型方法和系统。特别是，碳离子注入工艺包括利用包含一氧化碳和一种或更多种由式CxFy(其中x≥1且y≥1)表示的含有碳的含氟气体的掺杂物气体混合物。至少一种含有碳的含氟气体以基于掺杂物气体混合物的体积计约3-12体积百分比(vol%)包含在混合物中。氟离子、自由基或其组合由电离的掺杂物气体混合物释放并且沿着反射电极、提取电极和室的表面中的至少一个与基本上由碳衍生的沉积物反应以减少沉积物的总量。这样，单个掺杂物气体混合物能够提供碳离子并且移除和消除在碳注入期间典型地遇到的宽范围的成问题的沉积物。