一种基于脉冲激光的集成电路FIB快速定位方法

摘要

本发明涉及一种基于脉冲激光的集成电路FIB快速定位方法，根据集成电路版图所提供的布局布线信息，调整显微镜分辨率，找到需要做FIB的区域，然后利用脉冲激光轰击所述需要做FIB的区域，做出烧蚀光斑标记，需要做FIB的区域为集成电路版图中的金属线表面或者空白区域表面，采用本发明方法能够大大提高定位精度和定位效率，可用将传统定位方法大约2个小时左右缩短到20分钟以内，特别是对重复单元较大区域或顶层金属布局无特征参时，可以使其定位效率提高2～4倍。