水分量变动检测装置、水分量变动检测方法、真空计以及真空度变动检测方法

摘要

即使测量对象空间的水分量或者压力很大地变化，也不需要切换操作，能够连续进行水分量变化或者宽频带的压力变动的检测。水分量变动检测装置(100)，具备：硅气凝胶(104)，被配置为在测量对象空间中露出；检测部(103)，检测测量对象空间中的水分量变动，检测部(103)具有：光源(111)，向硅气凝胶(104)照射具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光；受光部(110)，接受透过硅气凝胶(104)的光中的、具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波长区域的光；以及运算部(114)，根据由受光部(110)接受的光的强度的变化，运算测量对象空间中的水分量变动。