制造石墨烯膜的方法、用于制造石墨烯膜的设备和通过使用用于制造石墨烯膜的设备制成的石墨烯膜

摘要

一种制造石墨烯膜的方法，所述方法包括：在催化剂金属膜的表面上形成石墨烯；在石墨烯的上面没有形成催化剂金属膜的表面上形成第一膜；去除催化剂金属膜；以及对石墨烯执行掺杂过程，其中，通过使用辊对辊方法在一个方向上执行形成石墨烯、形成第一膜、去除催化剂金属膜、执行掺杂过程的步骤。