公开/公告号CN103594320A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-02-19
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司;
申请/专利号CN201310610341.6
申请日2013-11-27
分类号H01J37/32;
代理机构苏州华博知识产权代理有限公司;
代理人孟宏伟
地址 215011 江苏省苏州市苏州高新技术产业开发区泰山路2号(博济科技园内)
入库时间 2024-02-19 22:14:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-03
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J37/32 申请公布日:20140219 申请日:20131127
发明专利申请公布后的驳回
2014-03-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20131127
实质审查的生效
2014-02-19
公开
公开
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