一种基于溶液变色性色素的半导体挥发性有机化合物传感器

摘要

本发明涉及一种基于溶液变色性色素的半导体挥发性有机化合物传感器，该传感器由标准硅工艺设计制造而成，利用门控横向双极结晶体管作为本发明的核心器件，溶液变色性色素作为本传感器的气体反应薄膜。同时应用该器件工作在金属氧化物半导体场效应晶体管-双极结晶体管混合工作模式下，具有较强的传导效率，进一步的提高传感灵敏度。本发明在半导体器件所具有的体积小、重量轻、易于量产、低成本、低功耗、易于集成的前提下，实现了常温下的半导体挥发性有机化合物的测量。此器件在理论上提高了传感器件的寿命，并减少了普通半导体气体传感器高温操作所需要的能量消耗，此器件可应用与小型环境检测器件等领域。