公开/公告号CN103443919A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-12-11
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱化学株式会社;
申请/专利号CN201280016243.3
申请日2012-03-30
分类号H01L25/065(20060101);H01L23/29(20060101);H01L23/31(20060101);H01L25/07(20060101);H01L25/18(20060101);H01L27/00(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人张平元
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 21:48:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-18
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L25/065 申请公布日:20131211 申请日:20120330
发明专利申请公布后的驳回
2017-06-16
著录事项变更 IPC(主分类):H01L25/065 变更前: 变更后: 申请日:20120330
著录事项变更
2017-06-16
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L25/065 登记生效日:20170531 变更前: 变更后: 申请日:20120330
专利申请权、专利权的转移
2014-03-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L25/065 申请日:20120330
实质审查的生效
2013-12-11
公开
公开
机译: 三维集成电路的层间填充材料,涂布液的制造方法和三维集成电路
机译: 三维集成电路的层间填充材料,涂布液的制造方法和三维集成电路
机译: 三维集成电路板的三维集成叠层和夹层材料