法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-23
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/20 申请公布日:20140115 申请日:20130913
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-02-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20130913
实质审查的生效
2014-01-15
公开
公开
机译: 具有高脉冲率的激光-等离子体极紫外-光源的液滴靶的生产方法。
机译: 高脉率激光等离子极紫外光源的液滴靶传递方法
机译: 高脉率激光等离子极紫外光源的液滴靶传递方法