通过化学气相沉积合成石墨烯的装置和方法

摘要

本发明提供了通过化学气相沉积合成石墨烯的装置和方法。特别地，本发明提供了这样的装置，用于在限定了外部反应空间的反应器内的基材上合成膜。该装置包含容器体和一个或多个容器盖。一个或多个容器盖适于能拆卸地连接于容器体以与此形成反应容器。反应容器：i)包含石墨；ii)限定了适于容纳基材的内部反应空间；iii)适于放置在外部反应空间内；和iv)适于允许反应容器外的气体进入内部反应空间。