微纳米银、铜或银铜合金薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种微纳米银、铜或银铜合金薄膜及其制备方法。该微纳米银、铜或银铜合金薄膜的制备方法采用光化学液相沉积法，将半导体基体浸入硝酸银溶液或/和硝酸铜溶液中，进行紫外光光照，该半导体基体通过吸收光子被激发出电子，使银离子或铜离子还原生成银或铜，沉积在被氢氟酸腐蚀过的半导体基体上，从而实现微纳米颗粒的均匀沉积，得到上述微纳米银、铜或银铜合金薄膜。该方法工艺简单、条件易控、避免了有机溶剂的使用，有效降低了生产成本，并且容易控制金属薄膜的大小、形貌及组分。由该方法制备的微纳米银、铜或银铜合金薄膜具有优良的抗冲击性及抗腐蚀性。