一种三维集成固体继电器

摘要

本发明公开了一种集成度较高、可靠性较好的三维集成固体继电器。该三维集成固体继电器，包括集成于同一衬底上的光电池阵列、控制电路和输出端功率半导体器件，所述控制电路和输出端功率半导体器件集成在衬底的正面，光电池阵列集成在衬底的背面，所述光电池阵列通过金属引线与控制电路连接。通过将控制电路和输出端功率半导体器件集成在衬底的正面，光电池阵列集成在衬底的背面，三维集成的方式有效利用了芯片背面的面积，节省了芯片面积，可以大大提高芯片的集成度，而且将光电池阵列、控制电路和输出端功率半导体器件集成于同一衬底上，减小了封装的难度和寄生效应，有效提高了继电器的可靠性，适合在电力电子技术领域推广应用。