法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/306 申请公布日:20130821 申请日:20111216
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-10-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/306 申请日:20111216
实质审查的生效
2013-08-21
公开
公开
机译: 利用电子束技术产生臭氧和等离子体
机译: 利用电子束技术产生臭氧和等离子体
机译: 利用电子束技术产生臭氧和等离子体