基于纳米团簇束流沉积系统制备TiO2纳米颗粒减反膜的方法

摘要

一种基于纳米团簇束流沉积制备TiO2纳米颗粒减反膜的方法，包括以下步骤：（a）将基片固定于高真空沉积室内的基座上；（b）将整个团簇束流沉积系统抽真空，向冷凝室内充入惰性气体，通过原子化器产生高密度Ti原子,Ti原子在惰性气体中成核生长形成Ti团簇，依次通过喷嘴和准直器形成高度定向的Ti纳米团簇束流；（c）纳米团簇束流斜入射对基片沉积，利用纳米粒子在斜入射沉积过程中产生的自掩模效应形成多孔结构，在沉积过程中高真空沉积室内通入氧气，使Ti纳米颗粒薄膜氧化为TiO2纳米颗粒薄膜，或采用沉积/氧化交替进行的方式，使TiO2纳米颗粒在基片上达到所需的覆盖率及层数。本发明方法具有可控性强、工艺简单、成本低、高效率等特点。