法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-23
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/02 申请公布日:20130724 申请日:20130329
发明专利申请公布后的驳回
2013-08-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20130329
实质审查的生效
2013-07-24
公开
公开
机译: 具有非晶态氧化铱阻挡层和电极的铁电电容器,集成的半导体装置和集成的半导体装置制造方法
机译: 集成半导体电路的制造方法具有用于集成电容器的电介质或铁电层,该集成电容器在被还原成小颗粒的半导体电路基板之前被分别加热
机译: 一种用于生产由半导体和铁电材料组成的电介质的方法,特别是用于将单片或集成电路中的电容器去耦的方法