硅块载体、具有该载体的载体装置和制造载体装置的方法

摘要

一种硅块（31）载体（13），设计作为载体装置（11）的一部分，与载体下部（25）一起固定连接到硅块（31），并且与其一起移动，来通过锯削、清洁或诸如此类来机械加工。载体（13）指向硅块（31）的底面具有多个通道（29），正如连接到此处的载体下部（25），在不同的情况中，通道（29）一个置于另一个之上。水从上面引入到载体（13）中的通道（29）中并且能够延伸通过位于锯削的硅块（31）的晶片之间的载体下部（25）中的锯削槽，用于清洁目的。