利用四氟化硅制作高效率微晶硅薄膜太阳能电池

摘要

本发明主要目的系一种利用四氟化硅制作高效率微晶硅薄膜太阳能电池，此技术方法于利用四氟化硅取代原本的硅烷，由原本Si:H变成Si:H:F，以制造高效率之微晶硅薄膜太阳能电池，其目的在于能够使微晶硅(Si:H:F)获得更多的红外光吸收，至少提升80%，并产生高效率微晶硅薄膜太阳能电池。