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公开/公告号CN103064257A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-04-24
原文格式PDF
申请/专利权人 IMEC公司;索尼株式会社;
申请/专利号CN201210342442.5
发明设计人 岩濑和也;P·德毕晓普;
申请日2012-09-14
分类号G03F7/20;
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人张欣
地址 比利时勒芬
入库时间 2024-02-19 19:06:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-01
授权
2014-10-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20120914
实质审查的生效
2013-04-24
公开
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