全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用

摘要

简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求.简述了高压脉冲电源的基本原理及应用,介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点.着重阐述了全固态高压脉冲电源在光刻用准分子激光器和EUV光源中的应用.大功率半导体开关结合多级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源有效替代传统基于闸流管的高压脉冲电源,实现了光刻光源高重复频率下的长寿命运行.介绍了中国科学院安徽光学精密机械研究所近十年来,在准分子激光器的全固态高压脉冲电源研究上的相关进展.最后,对未来半导体光刻光源对全固态脉冲电源的需求进行了展望.