基于重反射技术的调频连续波干涉仪

摘要

基于重反射技术的调频连续波干涉仪，属于光学领域。本发明为解决现有采用线性调频激光干涉技术的干涉仪不能达到很高的精度问题。它的调频激光器输出的激光束经准直透镜准直后输出准直平行光束，并入射至分光棱镜，经分光棱镜反射的光束入射至第一角锥棱镜，再返回入射至分光棱镜，再透射出去形成参考光束，该参考光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上；经分光棱镜透射的光束入射至第二角锥棱镜；第二角锥棱镜反射后形成的向上偏移光束入射至第三角锥棱镜，经第三角锥棱镜、第二角锥棱镜和分光棱镜依次反射后形成测量光束，该测量光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上。本发明作为一种干涉仪。