一种制备准单晶硅的铸锭炉及制备准单晶硅的方法

摘要

本发明提供了一种制备准单晶硅的铸锭炉。本发明还提供了一种准单晶硅的制备方法，它是在准单晶铸锭炉中完成准单晶硅的生长，采用热交换装置，利用气体换热，控制温度、调节固液界面，生长准单晶。本发明通过使用特殊的热交换装置，用气体换热的方式替代传统的隔热笼换热方式，能精确控制籽晶温度，解决了固液界面不平坦的问题，提高准单晶比例以及提升硅料利用率。