法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/24 申请公布日:20130605 申请日:20111124
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-07-10
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20111124
实质审查的生效
2013-06-05
公开
公开
机译: 在导电ITO膜上或在玻璃基板表面上作为ITO膜的金属基板形成金属薄膜层的方法,以及在导电ITO膜上或在玻璃基板表面上作为ITO膜的基板在金属基板上形成金属膜层的方法
机译: 去除沉积在玻璃或金属氧化膜上的导电陶瓷材料的方法
机译: 便于物理气相沉积以修改半导体基片上非金属膜的系统和装置