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一种虚像投影物镜和一种超广角物镜

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摘要

本发明公开了一种虚像投影物镜，包括依次排列的第一透镜、第二透镜和第三透镜，其中，第一透镜的第一光焦度Φ

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-12-16

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B13/18 申请公布日:20130403 申请日:20121226

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-05-01

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B13/18 申请日:20121226

实质审查的生效
2013-04-03

公开

公开

1. 一种虚像投影物镜和一种超广角物镜 [P] . 中国专利： CN103018886A . 2013-04-03
2. 一种高清晰度超广角平场物镜 [P] . 中国专利： CN210924088U . 2020.07.03
3. An optical waves front manipulator, the projection lens system with such an optical waves front manipulator and microlithographic apparatus with such a projection objective [P] . 德国专利： DE102015207784A1 . 2016-11-03

机译：一种光波前操纵器，具有这种光波前操纵器的投影透镜系统和具有这种投影物镜的微光刻设备
4. A method for connecting two components to a composite structure by means of "fusion bonding" as well as the composite structure produced therewith, an optical element, holding device, the projection objective and a projection exposure system [P] . 德国专利： DE102008011354B3 . 2009-09-24

机译：一种通过“熔接”将两个组件连接到复合结构的方法以及由此产生的复合结构，光学元件，保持装置，投影物镜和投影曝光系统
5. A method for setting a desired optical property of a projection objective, as well as of the microcapsules a lithographic projection exposure system [P] . 德国专利： DE10257766A1 . 2004-07-15

机译：一种用于设置投影物镜以及微胶囊的期望光学特性的方法，用于光刻投影曝光系统