一种适用于等离子体加强化学气相沉积工艺设备的一体化真空腔体结构

摘要

本发明提供一种适用于等离子体加强化学气相沉积工艺设备的一体化真空腔体，其中的下电极和下部腔体是同一种材料、一体构成的一体化真空下腔体构件。本发明提供的适用于等离子体加强化学气相沉积工艺设备的一体化真空腔体，由于下部腔体和下电极为同样材料的一体化构件，能够解决热膨胀导致的密封问题，并且可以使得设备的结构简单，制造方便，降低成本。