显微镜用光学系统及使用了该显微镜用光学系统的显微镜

摘要

本发明提供一种显微镜用光学系统。该光学系统即使在将1微米级的试样以与光学系统的最靠物体侧的面接触或邻接的方式配置的情况下，也能够使观察图像具有足够的对比度和分辨率。显微镜用光学系统具备照明光学系统(G11)和物镜光学系统，物镜光学系统从物体侧依次具有物镜组(G12)、第1成像透镜组(G13)和第2成像透镜组(G14)，并满足下述条件式。NAL×2≤NAO≤NAL×15...(1)；0.01≤NAL≤0.1...(2)；25≤MO≤100...(3)，其中，NAL是照明光学系统(G11)的数值孔径，NAo物镜组(G12)的数值孔径，Mo是物镜组(G12)的成像倍率。