公开/公告号CN103074566A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201110328389.9
申请日2011-10-26
分类号C23C4/12(20060101);C23C4/10(20060101);
代理机构北京市德权律师事务所;
代理人刘丽君
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-18 08:34:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-05
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C4/12 申请公布日:20130501 申请日:20111026
发明专利申请公布后的驳回
2014-09-10
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C4/12 申请日:20111026
实质审查的生效
2013-05-01
公开
公开
机译: 一种常压等离子体技术制备涂层的方法
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