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一种超音速等离子体喷涂技术制备Y2O3涂层的方法

摘要

本发明涉及等离子喷涂技术领域,具体涉及一种超音速等离子体喷涂技术制备Y2O3涂层的方法。所述方法,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),对被喷涂的基材表面进行预处理;步骤(3),通过超音速等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出Y2O3涂层。使用本发明制备的Y2O3涂层结构致密,孔隙率大大降低,可达1%以下;涂层沉积片层间的结合强度及涂层与基体间的结合强度比普通大气等离子喷涂都有所提高。

著录项

  • 公开/公告号CN103074566A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-05-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;

    申请/专利号CN201110328389.9

  • 发明设计人 王文东;刘邦武;夏洋;李勇滔;

    申请日2011-10-26

  • 分类号C23C4/12(20060101);C23C4/10(20060101);

  • 代理机构北京市德权律师事务所;

  • 代理人刘丽君

  • 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号

  • 入库时间 2023-06-18 08:34:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-04-05

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C4/12 申请公布日:20130501 申请日:20111026

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2014-09-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C4/12 申请日:20111026

    实质审查的生效

  • 2013-05-01

    公开

    公开

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