一种制作高填充系数的方形孔径平面微透镜阵列的方法

摘要

一种制作高填充系数的方形孔径平面微透镜阵列的方法，所述方法包括下列步骤：选用Na+含量较高的光学玻璃作为基片，进行基片表面清洗，然后在玻璃基片上溅射钛膜层；在钛膜层上均匀涂光刻胶；使用紫外线进行曝光，进行显影；去除钛膜层和光刻胶；进行离子交换，其特征在于：在所述进行曝光时采用了具有方孔的方形掩模板，其中方孔的四边与相邻四孔中心连线所构成的正方形四边相平行或垂直；这种方形孔径平面微透镜阵比先前研制的圆孔扩散的阵列填充因子更高，因此能适用于在光信息的会聚、整形、耦合、互连、成像以及要求光信息尽可能无损地全部利用比提高传输图像像质更重要的情况中。因此，本发明具有非常重要的理论意义和实用意义。